Það sem Magnetron Sputtering Titanium Target verður að skila
Títanmarkmið sem er sputtering segulóma er neysluuppspretta þunnrar títanfilmu sem er afhent í eðlisfræðilegum gufuútfellingarbúnaði sem notaður er fyrir samþættar rafrásir, skjái og virka húðun. Vegna þess að filman erfir efnafræði og uppbyggingu marksins eru markmiðsgæði skilgreind af litlum eiginleika: efnafræðilegum hreinleika, þéttleika, kornastærð og einsleitni kornastærðar, kristalstefnu og frelsi frá gropi og innfellingum. Undirbúningur hefst því með hráefnisvali og endar með vinnslu, límingum, hreinsun og pökkun.
Tvær fjölskyldur af hráefnisframleiðslutækni eru notaðar, flokkaðar eftir bræðsluferlinu: rafeindageislabræðsluefnið, þekkt sem EB billet, og tómarúmsneyslu rafbogaofninn, þekktur sem VAR billet. Hvort sem leiðin er valin, verður markundirbúningsstigið að stjórna ekki aðeins hreinleika, þéttleika, kornastærð og kristalstefnu efnisins, heldur einnig hitameðhöndlunaraðstæður og síðari mótunaraðgerðir.
Hráefnisleiðir: EB Billet og VAR Billet
EB billet leið:hráefni með miklum-hreinleika er hreinsað með bræðslu rafgreiningu til að fjarlægja há-bræðslumark-óhreinindaefni úr títan fylkinu, síðan frekar hreinsað með rafeindageislabræðslu í lofttæmi.
VAR billet leið:gráðu 0 svampur títan, venjulega með um það bil 99,9 prósent hreinleika, er brætt í lofttæmandi rafbogaofni og síðan heitt smíðað til að mynda lítinn þverskurð.
Leiðirnar tvær eru til viðbótar frekar en að keppa. Rafgreiningarhreinsun og rafeindageislabræðsla saman skila mjög miklum hreinleika, en VAR leiðin veitir -hagkvæmt, þétt efni fyrir þær flokkar þar sem aðeins lægri hreinleiki er ásættanlegt.
Hreinsunarkerfi við bráðnun rafgeisla
Tómarúm rafeindageislabráðnun notar há-orku rafeindageisla til að sprengja málmyfirborðið, þannig að hitastigið hækkar smám saman þar til málmurinn bráðnar. Frumefni með háan gufuþrýsting rokka helst, en frumefni með lágan gufuþrýsting verða eftir í bræðslunni. Því meiri munur á gufuþrýstingi milli óhreinindaþáttar og títanfylkis, því betri eru hreinsunaráhrifin.
Afgerandi kosturinn við lofttæmishreinsun eftir bráðnun er að óhreinindi eru fjarlægð úr títangrunninu án þess að önnur óhreinindi komi inn í. Þegar 99,99 prósent rafgreiningartítan er brætt með rafeindageisla í háu lofttæmi, rokka óhreinindi eins og Fe, Co og Cu, þar sem mettaður gufuþrýstingur er hærri en títan sjálfs, helst upp og óhreinindainnihald fylkisins lækkar í samræmi við það. Með því að sameina rafgreiningarhreinsun og rafeindageislabræðslu getur það framleitt títanmálm með hreinleika yfir 99,995 prósent.
| Leið | Fóðurefni | Bræðslueining | Hreinsunaráhrif |
|---|---|---|---|
| EB billet | Rafgreiningartítan, um 99,99 prósent | Tómarúm rafeindageislaofn | Ívilnandi fjarlæging á háum gufuþrýstingsþáttum eins og Fe, Co og Cu; hreinleiki yfir 99,995 prósent |
| VAR billet | Gráða 0 svampur títan, um 99,9 prósent | Rafmagnsljósbogaofn með tómarúmi | Þétt, hreint efni eftir heitt mótun að litlum-þversniði |
Hitavélræn vinnsla og örbyggingarstýring
Málmtítanhráefninu sem framleitt er með báðum leiðum er breytt í sputtering skotmark með röð hitameðrískra aflögunarþrepa. Tilgangur þessara skrefa er að gera örbygginguna einsleita yfir allt sputtering yfirborðið, vegna þess að skotmark sem veðrast ójafnt framleiðir filmu þar sem þykkt og eiginleikar eru mismunandi eftir undirlaginu.
Samræmd aflögun bælir einnig steypubygginguna sem eftir er af bráðnun. Hitameðhöndlun eftir aflögun er notuð til að létta álagi og stilla kornastærð innan þess bils sem krafist er fyrir stöðuga sputtering, og síðari myndunarferli verður að stjórna til að forðast að endur-innleiða ósamræmi nálægt sputtering yfirborðinu.
Frágangur, líming og pökkun
Vinnsla:skotmarkið er unnið að endanlegri rúmfræði og yfirborðsfrágangi sem skilgreint er af teikningu viðskiptavinarins.
Tenging:skotmarkið er tengt við bakplötuna þannig að varmi sem myndast við sputtering er leiddur í burtu og samsetningin helst vélrænt stöðug.
Þrif:yfirborðsmengun, skurðarleifar og meðhöndlunarmerki eru fjarlægð áður en skotmarkinu er pakkað.
Pökkun:fullbúnu skotmarkinu er pakkað til að vernda sputtering yfirborðið fyrir höggi, raka og agnamengun meðan á flutningi stendur.
Gæðaeftirlitslisti fyrir markkaupendur
| Eign | Hvers vegna það skiptir máli | Hvernig það er staðfest |
|---|---|---|
| Efnafræðilegur hreinleiki | Óhreinindi hækka filmuviðnám og valda agnum | Löggilt efnafræðileg greining á kútnum og fullunnu skotmarki |
| Þéttleiki og porosity | Porosity veldur bogamyndun og agnamyndun | Þéttleikamæling auk ultrasonic skoðun |
| Kornastærð og einsleitni | Stjórnar rofsniði og einsleitni filmu | Málmfræðileg skurður þvert yfir sputtering yfirborðið |
| Kristall stefnumörkun | Hefur áhrif á sputter ávöxtun og filmu áferð | Áferðarmæling á dæmigerðum sýnum |
| Skrá um hitameðferð | Ákvarðar streituástand og endanlega kornastærð | Ofnatöflur og rekjanleiki lotu |
Algengar spurningar
Sp.: Hver er munurinn á milli EB billet og VAR billet?
EB billet er framleidd með lofttæmi rafeindageislabráðnun og hreinsuð með ívilnandi rokgjörn óhreininda með háum gufuþrýstingi, en VAR billet er framleidd með lofttæmisneyslu rafbogabráðnun, venjulega úr gráðu 0 svamptítan, og síðan heitsmíði í minni þversnið.
Sp.: Hvers vegna er tómarúm rafeindageislabráðnun notuð fyrir há-hreinleika títan?
Vegna þess að það fjarlægir óhreinindi frumefni úr títan fylkinu án þess að kynna önnur óhreinindi, treysta á muninn á gufuþrýstingi milli óhreininda og fylkisins.
Sp.: Hvaða hreinleika er hægt að ná?
Rafgreiningartítan með um það bil 99,99 prósent hreinleika er hægt að uppfæra í títanmálm með hreinleika yfir 99,995 prósent þegar rafeindageislabræðsla er sameinuð rafgreiningarþrepinu.
Sp.: Hvers vegna þarf örbyggingin að vera einsleit yfir allt sputtering yfirborðið?
Samræmd uppbygging og kornastærð gefur jafnan rofsnið, sem heldur filmuþykkt og filmueiginleikum í samræmi frá miðju að brún undirlagsins.
Sp.: Hvaða eiginleikum er stjórnað við undirbúning marks?
Hreinleiki, þéttleiki, kornastærð og kristalstefna efnisins, ásamt hitameðhöndlunarskilyrðum og síðari myndunarferlum.
Sp.: Hvernig er kútnum breytt í fullbúið skotmark?
Með varmavélrænni aflögun til að sameina örbygginguna, fylgt eftir með vinnslu, tengingu, hreinsun og pökkun.
